當 20 kHz 至 100 kHz 的強大超聲波發射到液體中時，正壓和負壓交替施加到氣體分子上。被正壓壓縮的氣體分子在下一刻由于負壓而劇烈膨脹。這種重復導致氣體分子在壓縮時具有非常高的壓力，它會爆裂并消失。這種非常高的沖擊壓力的產生稱為“氣蝕現象"，氣泡破裂時沖擊波作用在工件上分離異物的效果稱為“氣蝕效應"。

這主要是在低頻和中頻下的清潔動作。

在超聲波清洗機的實際使用中，氣蝕發生的方式因液體的深度和類型而異。因此，要想獲得良好的超聲波清洗效果，控制這些因素至關重要。